GB/T 14863-2013

摘要：GB/T 14863-2013标准2013年12月31日发布2014年08月15日实施，此标准规定了用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的测试方法。此标准适用于外延层厚度不小于某一最小厚度值(见附录A)相同或相反导电类型衬底上的n型或p型外延层的净载流子浓度测量。此标准也适用于硅抛光片的净载流子浓度测量。国家标准《用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。