GB/T 38867-2020

摘要：GB/T 38867-2020标准2020年07月21日发布2021年02月01日实施，此标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。此标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。国家标准《电子工业用四氯化硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。