GB/T 34085-2017

摘要：GB/T 34085-2017标准2017年07月31日发布2017年11月01日实施，此标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。此标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。分子式：CHF3相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量）。国家标准《电子工业用气体 三氟甲烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。