GB/T 34091-2017

摘要：GB/T 34091-2017标准2017年07月31日发布2017年11月01日实施，此标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。此标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。分子式：C2F6。相对分子质量：138.0124（按2013年国际相对原子质量）。国家标准《电子工业用气体 六氟乙烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。