GB/T 31987-2015

摘要：GB/T 31987-2015标准2015年09月11日发布2016年05月01日实施，此标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。此标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。分子式:GeH4。相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。国家标准《电子工业用气体 锗烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。