摘要:GB/T 31986-2015标准2015年09月11日发布2016年05月01日实施,此标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 此标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。 分子式:C3F8。 相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。国家标准《电子工业用气体 八氟丙烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
分类:化工技术
更新:2025-01-16最后编辑
名称:GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷
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