GB/T 14139-2019

摘要：GB/T 14139-2019标准2019年06月04日发布2020年05月01日实施，此标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。此标准适用于在直径不大于150mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。