T/ICMTIA SM006-2021

摘要：T/ICMTIA SM006-2021标准2021年05月31日发布2021年07月30日实施，本文件规定了直径300mm、P/P-型、(100)晶向规格的硅外延片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本文件适用于集成电路线宽65nm-14…《集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片》团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。