GB/T 1557-2018

摘要：GB/T 1557-2018标准2018年09月17日发布2019年06月01日实施，此标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。此标准适用于室温电阻率大于0.1cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时，氧含量（原子数）测试范围从1X1016cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度；以低温红外设备测试时，氧含量（原子数）的测试范围从0.5X1015cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。