GB/T 14144-2009

摘要：GB/T 14144-2009标准2009年10月30日发布2010年06月01日实施，u3000u3000此标准采用红外光谱法测定硅晶体中间隙氧含量径向的变化。此标准需要用到无氧参比样品和一套经过认证的用于校准设备的标准样品。 u3000u3000此标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。国家标准《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。