GB/T 36705-2018

摘要：GB/T 36705-2018标准2018年09月17日发布2019年06月01日实施，此标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。此标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：11017cm-3～11020cm-3。国家标准《氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。