GB/T 31472-2015

摘要：GB/T 31472-2015标准2015年05月15日发布2016年01月01日实施，此标准规定了X射线光电子能谱（XPS）的荷电控制和荷电基准技术。此标准适用于XPS荷电控制和荷电定位技术，不适用于其他电子激发系统。国家标准《X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。