GB/T 28632-2012

摘要：GB/T 28632-2012标准2012年07月31日发布2013年02月01日实施，此标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。