GB/T 31470-2015

摘要：GB/T 31470-2015标准2015年05月15日发布2016年01月01日实施，此标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。此标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱：人射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域；光电子从样品到分析器人口的过程中经过自由空间；装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。