摘要：GB/T 29504-2013标准2013年05月09日发布2014年02月01日实施，此标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cmm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。此标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。国家标准《300mm 硅单晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
分类：电气工程
更新：2025-01-15最后编辑
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