GB/T 29506-2013

摘要：GB/T 29506-2013标准2013年05月09日发布2014年02月01日实施，此标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cm规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试脸方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。此标准适用于直径300 mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。国家标准《300mm 硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。