T/ICMTIA PC007-2021

摘要：T/ICMTIA PC007-2021标准2021年05月31日发布2021年07月30日实施，本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。分子式：HF相对分子质量：20.01（按2014…《集成电路用氢氟酸》团体名称为中关村集成电路材料产业技术创新联盟。