GB/T 18032-2000

摘要：GB/T 18032-2000标准2000年04月03日发布2000年09月01日实施，此标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。此标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度（AB－EPD）的检验。检验面为（100）面。测量范围小于 5 X10 cm国家标准《砷化镓单晶AB微缺陷检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。