GB/T 27760-2011

摘要：GB/T 27760-2011标准2011年12月30日发布2012年05月01日实施，此标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。 此标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。 此标准并未指出所有可能的安全问题,在应用此标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。国家标准《利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。