摘要：GB/T 26307-2010标准2011年01月14日发布2011年11月01日实施，此标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志，包装、运输，贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。此标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。国家标准《银靶》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口上报，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
分类：冶金
更新：2025-01-14最后编辑
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