GB/T 26074-2010

摘要：GB/T 26074-2010标准2011年01月10日发布2011年10月01日实施，此标准规定了用直流四探针法测量锗单晶电阻率的方法。此标准适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距离二者均大于探针间距的4倍锗单晶的电阻串以及测量直径大于探针间距的1O倍、厚度小于探针间距4倍锗单晶圆片(简称圆片)的电阻率。测量范围为1×10-3Ω·m～l×lO2Ω·cm。国家标准《锗单晶电阻率直流四探针测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。