GB/T 25497-2010

摘要：GB/T 25497-2010标准2010年12月01日发布2011年05月01日实施，此标准规定了吸气剂放气量的测试方法、掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法、释汞吸气剂放气回吸曲线的测试方法、定压法吸气性能测试方法、定容法吸气性能测试方法等吸气剂气体吸放性能测试方法。此标准适用于真空器件用吸气剂。国家标准《吸气剂气体吸放性能测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。