GB/T 4058-2009

摘要：GB/T 4058-2009标准2009年10月30日发布2010年06月01日实施，u3000u3000此标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。 u3000u3000此标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。 u3000u3000硅单晶氧化诱生缺陷的检验也可参照此方法。国家标准《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。