GB/T 6624-2009

摘要：GB/T 6624-2009标准2009年10月30日发布2010年06月01日实施，u3000u3000此标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。 u3000u3000此标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。国家标准《硅抛光片表面质量目测检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。