GB/T 14264-2009

摘要：GB/T 14264-2009标准2009年10月30日发布2010年06月01日实施，u3000u3000此标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 u3000u3000此标准适用于元素和化合物半导体材料。国家标准《半导体材料术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。