GB/T 4061-2009

摘要：GB/T 4061-2009标准2009年10月30日发布2010年06月01日实施，u3000u3000此标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。 u3000u3000此标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料，以细硅芯为发热体，在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。国家标准《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。