摘要：GB/T 24580-2009标准2009年10月30日发布2010年06月01日实施，此标准规定了重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱测试方法。此标准适用于二次离子质谱法(SIMS)对重掺n型硅衬底单晶体材料中痕量硼沾污(总量)的测试。国家标准《重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
分类：电气工程
更新：2025-01-14最后编辑
名称：GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
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