GB/T 6617-2009

摘要：GB/T 6617-2009标准2009年10月30日发布2010年06月01日实施，u3000u3000此标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。 u3000u3000此标准适用于测量晶体晶向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量衬底同型或反型的硅片外延层的电阻率，测量范围:10 Ωcm～10 Ω·cm。国家标准《硅片电阻率测定 扩展电阻探针法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。