GB/T 18682-2002

摘要：GB/T 18682-2002标准2002年03月10日发布2002年08月01日实施，此标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。此标准适用于物理气相沉积TiN薄膜，也适用于其他方法制备的TiN薄膜。此标准也适用于其他材料沉积层(TiC，TiCN，TiAIN等)。国家标准《物理气相沉积TiN薄膜技术条件》由TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。