GB/T 1558-2023

摘要：GB/T 1558-2023标准2023年12月28日发布2024年07月01日实施，此标准描述了硅中代位碳原子含量的红外吸收测试方法。此标准适用于电阻率大于3Ω·cm的P型硅单晶片及电阻率大于1Ω·cm的n型硅单晶片中代位碳原子含量的测试（室温下测试范围：5X1015cm-3至硅中碳原子的最大固溶度；温度低于80K时测试范围：不小于5X1014cm-3）。国家标准《硅中代位碳含量的红外吸收测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。