GB/T 43493.2-2023

摘要：GB/T 43493.2-2023标准2023年12月28日发布2024年07月01日实施，此标准提供了在商用碳化硅（SiC）同质外延片产品上缺陷光学检测的定义和方法。主要是通过给出这些缺陷的光学图像示例，为SiC同质外延片上缺陷的光学检测提供检测和分类的依据。此标准主要论述缺陷的无损表征方法，因此有损表征例如湿法腐蚀等不包含在此标准范围内。国家标准《半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。