GB/T 43315-2023

摘要：GB/T 43315-2023标准2023年11月27日发布2024年06月01日实施，此标准规定了化学腐蚀后用金相显微镜检测硅片流动图形缺陷的方法。此标准适用于电阻率大于1Ω·cm的硅片流动图形缺陷的检测。国家标准《硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。