T/CZSBDTHYXH 001-2023

摘要：T/CZSBDTHYXH 001-2023标准2023年08月08日发布2023年08月09日实施，本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。《半导体晶圆缺陷自动光学检测设备》团体名称为常州市半导体行业协会。