GB/T 43313-2023

摘要：GB/T 43313-2023标准2023年11月27日发布2024年06月01日实施，此标准规定了4H碳化硅抛光片表面质it和微管密度的共焦点微分干涉测试方法。此标准适用于直径为50.8mm、76.2mm、100mm、150mm、200mm，厚度范围为300μm~1000μm碳化硅抛光片的表面质量和微管密度的测试。国家标准《碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。