T/CASAS 032-2023

摘要：T/CASAS 032-2023标准2023年06月19日发布2023年06月19日实施，本文件描述了电感耦合等离子体质谱法测定碳化硅晶片表面金属元素含量的方法。本文件适用于碳化硅单晶抛光片和碳化硅外延片表面痕量金属钠、铝、钾、钙、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜…《碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法》团体名称为北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。