T/CASAS 013-2021

摘要：T/CASAS 013-2021标准2021年11月01日发布2021年12月01日实施，碳化硅（这里指4H-SiC）材料作为重要的第三代宽禁带半导体材料，具有高临界击穿场强、高的热导率、高的电子饱和漂移速率、优越的机械特性和物理、化学稳定性等特点，可用于制作高温大…《碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法》团体名称为北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。