GB/T 43104-2023

摘要：GB/T 43104-2023标准2023年09月07日发布2024年04月01日实施，此标准规定了碳基薄膜的分类、命名及简称。此标准所述的碳基薄膜是以碳为主要成分，并由物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）制备所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜〔又称为类金刚石薄膜（DLC)]，CVD金刚石薄膜、石墨薄膜和类聚合物碳基薄膜。此标准适用于工业规模生产的碳基薄膜。此标准不适用于尚未实现工业规模生产的其余种类碳基薄膜。此标准只涉及碳基薄膜材料，不涉及由主体功能层和上／下附加层组成的复合涂层。薄膜中各层组分和／或性能随厚度变化的薄膜称为梯度薄膜。此标准涉及的碳基薄膜均指非梯度薄膜。碳基薄膜可能包含如氢、金属或其他元素。其中金属成分还包含金属碳化物。此标准涵盖的掺杂碳基薄膜只包括以碳元素为主要成分的薄膜体系。对于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜，也不适用于此标准中的金属掺杂非晶碳基薄膜（a-C:Me,a-C:H:Me）体系。此标准不适用于富勒烯、碳纳米管、石墨烯、石墨炔等碳材料。国家标准《碳基薄膜 分类及命名》由TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口上报，TC57SC10（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会）执行，主管部门为中国机械工业联合会。