GB/T 29057-2023

摘要：GB/T 29057-2023标准2023年08月06日发布2024年03月01日实施，此标准规定了多晶硅棒取样、将样品区熔拉制成单晶以及通过低温红外光谱法或光致发光光谱法对拉制好的单晶硅棒进行分析以确定多晶硅中施主、受主、代位碳和间隙氧杂质含量等的规程。此标准适用于评价硅芯上沉积生长的棒状多晶硅。国家标准《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。