GB/T 35307-2023

摘要：GB/T 35307-2023标准2023年08月06日发布2024年03月01日实施，此标准规定了流化床法颗粒硅的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。此标准适用于以氯硅烷、硅烷气为原料，采用流化床法生产的颗粒状多晶硅（以下简称颗粒硅）。国家标准《流化床法颗粒硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。