GB/T 40566-2021

摘要：GB/T 40566-2021标准2021年10月11日发布2022年05月01日实施，此标准描述了用脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法测定颗粒硅中氢含量的方法。此标准适用于流化床法颗粒硅中氢含量的测定，其他硅材料参照使用。注：此标准测定氢含量的范围取决于所用氢分析仪的量程，最大测定范围为氢量0.00008mg~2.5mg。以质量分数（％）表示的氢分析仪的测定范围因称取样品量的不同而不同。例如，1g样品最大测定范围的质量分数为0.000008%～0.25%；0.15g样品最大测定范围的质量分数为0.00006%~1.66%。国家标准《流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。