GB/T 42274-2022

摘要：GB/T 42274-2022标准2022年12月30日发布2023年04月01日实施，此标准描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。此标准适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定，测定范围为镁、镓的含量均不小于1×1016cm-3，元素含量（原子个数百分比）不大于1%。国家标准《氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。