GB/T 42276-2022

摘要：GB/T 42276-2022标准2022年12月30日发布2023年04月01日实施，此标准描述了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的离子色谱测定方法。此标准适用于氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定，测试范围为0.0500mg/g~0.600mg/g。国家标准《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。