GB/T 41652-2022

摘要：GB/T 41652-2022标准2022年07月11日发布2023年02月01日实施，此标准规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。此标准适用于p拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200mm~450mm的硅电极及硅环。国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。