GB/T 39163-2020

摘要：GB/T 39163-2020标准2020年11月19日发布2021年10月01日实施，此标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。此标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。注：靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。国家标准《靶材与背板结合强度测试方法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口上报，TC243SC2（全国有色金属标准化技术委员会重金属分会）执行，主管部门为中国有色金属工业协会。