GB/T 39516-2020

摘要：GB/T 39516-2020标准2020年11月19日发布2021年06月01日实施，此标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。此标准适用于线间隔为0.05m~10pm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01m~100m的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm~1000nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm~1000nm的纳米线宽标准样板。国家标准《微纳米标准样板（几何量）》由TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。