GB/T 5252-2020

摘要：GB/T 5252-2020标准2020年06月02日发布2021年04月01日实施，此标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。此标准适用于｛111}、｛100｝和｛013｝面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0cm-2~100000cm-2。国家标准《锗单晶位错密度的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。