摘要：YS/T 987-2021标准2021年12月02日发布2022年04月01日实施，本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。中文标题为《氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法》
分类：制造业
更新：2025-01-16最后编辑
名称：YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法
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