T/CNIA 0017-2019

摘要：T/CNIA 0017-2019标准2019年02月13日发布2019年06月01日实施，本标准规定了多晶硅用氯硅烷中杂质（硼、磷、铁、钙、铝、铬、镍、铜、锌、钛、钾、钠）含量的电感耦合等离子体质谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氯硅烷中杂质（硼、磷、铁、钙、铝、铬、…《多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》团体名称为中国有色金属工业协会。