GB/T 37959-2019

摘要：GB/T 37959-2019标准2019年08月30日发布2020年03月01日实施，此标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。此标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》由TC159（全国自动化系统与集成标准化技术委员会）归口上报，TC159SC5（全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会）执行，主管部门为中国机械工业联合会。