GB/T 4059-2018

摘要：GB/T 4059-2018标准2018年12月28日发布2019年11月01日实施，此标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。此标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数）的测定，测定范围为0.011013Cm-3~5001013cm-3。国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。